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微型高低溫真空探針臺高低溫真空探針臺冷熱臺 加裝真空位移拉伸夾具 實(shí)現(xiàn)對柔性傳感材料在不同溫度 濕度 氣體濃度 壓力和位移條件下的電學(xué)信號測試 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移過程可采集樣品信號 熱臺溫度范圍 高溫60℃低溫-60℃ 機(jī)械泵極限真空小于1Pa

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真空手動(dòng)探針臺變溫射頻探針熱臺該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。

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